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    全自动去PSG清洗机介绍

    2014-03-29 10:27:19
    全自动去PSG清洗机
    用于去除硅片经扩散工序后表面产生的磷硅玻璃
    优点:
    1 经典槽式结构,方便维护
    2 伺服驱动系统保证举升和横移运动高速稳定
    3 可定制的工艺过程和干燥处理方式
    4 完善的过程控制系统,全自动控温和配液补液
    5 友好的视窗操作界面,可进行参数设置、手动控制、工艺转换

    技术参数
    功能 去PSG  
    产品 单晶/多晶硅电池片 156*156*0.2 mm
    125*125*0.2 mm
    产能 单篮节拍 450秒(可依客户要求调整)
    125mm*125mm 2400 pcs/hour
    156mm*156mm 1600 pcs/hour
    碎片率 <0.05%
    配置 Siemens PLC,10寸彩色触摸屏,急停按钮、指示灯及系列报警系统,PP和SUS304槽体,GF阀门与管路配件,透明移门与视窗,特氟龙水枪气枪等

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